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泰拉印刷申请高分辨率光刻专利可调控光处理系统与安装台之间的相对定位

  国家知识产权局信息显示,泰拉印刷有限责任公司申请一项名为“高分辨率光刻”的专利,公开号CN121444020A,申请日期为2024年6月。

  专利摘要显示,用于高分辨率光刻的设备、系统和方法可以包括:安装台,所述安装台用于接收基板,所述基板就位以接收用于光刻的投影光;光处理系统,所述光处理系统用于将光投影到所述安装台上以在所述基板上进行光刻;以及定位系统,所述定位系统用于调整所述光处理系统与所述安装台之间的相对定位。用于执行高分辨率光刻操作的控制系统可以被配置成确定所述光处理系统与所述安装台之间的相对定位并且用于调控所述定位系统的操作以对相对定位进行调整。

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